真空爐中的石墨件在高溫、真空或惰性氣體環(huán)境中作業(yè)，若保養(yǎng)不妥，簡單因多種原因?qū)е聯(lián)p壞，影響設(shè)備功能和運(yùn)用壽數(shù)。以下是常見的損壞類型及其成因和預(yù)防主張：
1.氧化與燒蝕
原因：
    爐體密封不良或真空度不足時(shí)，殘留氧氣在高溫下與石墨產(chǎn)生氧化反響（C+O2→CO2），導(dǎo)致外表疏松、強(qiáng)度下降甚至開裂。
預(yù)防措施：
    定時(shí)查看爐體密封性（如法蘭、電極接口）。
    確保真空泵功能合格，維持爐內(nèi)真空度。
    通入高純度惰性氣體（如氬氣）作為維護(hù)氣氛。
2.熱應(yīng)力開裂
原因：
    升降溫速率過快導(dǎo)致石墨件表里溫差大，熱膨脹不均產(chǎn)生應(yīng)力，尤其在雜亂形狀部件（如加熱器、連接件）中易引發(fā)裂紋。
預(yù)防措施：
    嚴(yán)厲遵循設(shè)備規(guī)定的升降溫程序（如≤5℃/min）。
    防止急冷急熱，停機(jī)后自然冷卻至安全溫度再開爐。
    定時(shí)查看石墨件外表裂紋（運(yùn)用放大鏡或探傷劑）。
3.機(jī)械損害
原因：
    裝置/拆卸時(shí)磕碰、東西劃傷、過度緊固螺栓導(dǎo)致石墨脆性斷裂，常見于薄壁結(jié)構(gòu)或螺紋連接處。
預(yù)防措施：
    運(yùn)用軟質(zhì)東西（如銅制扳手）操作，輕拿輕放。
    清潔時(shí)防止硬質(zhì)刷子，改用無塵布或壓縮空氣。
    均勻施力緊固螺栓，防止局部應(yīng)力會(huì)集。
4.污染與雜質(zhì)腐蝕
原因：
    油污、金屬粉塵或水汽殘留，高溫下與石墨反響生成碳化物（如SiC、金屬碳化物），導(dǎo)致局部腐蝕或絕緣功能下降。
預(yù)防措施：
    定時(shí)用無水乙醇或丙酮清潔石墨件外表。
    防止直觸摸摸金屬熔體（如釬焊時(shí)運(yùn)用石墨舟隔離）。
    堅(jiān)持爐內(nèi)干燥，預(yù)熱去除吸附水分。
5.揮發(fā)物堆積侵蝕
原因：
    處理低熔點(diǎn)金屬（如鋅、鋁）時(shí)，蒸氣在石墨外表冷凝，浸透孔隙引發(fā)結(jié)構(gòu)劣化。
預(yù)防措施：
    在石墨件外表涂覆抗氧化涂層（如SiC涂層）。
    運(yùn)用高密度石墨（如等靜壓石墨）削減孔隙率。
    定時(shí)整理爐膛內(nèi)壁堆積物。
6.高溫蠕變變形
原因：
    長時(shí)刻承受高溫（＞2000℃）及機(jī)械載荷（如支撐件），石墨逐步產(chǎn)生塑性變形，導(dǎo)致尺度失穩(wěn)。
預(yù)防措施：
    選用抗蠕變功能好的石墨資料（如細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)石墨）。
    設(shè)計(jì)時(shí)預(yù)留熱膨脹間隙，防止過緊裝配。
    定時(shí)檢測(cè)關(guān)鍵部位尺度，及時(shí)更換老化部件。
7.化學(xué)腐蝕（特定環(huán)境）
原因：
    在含氯、硫等活性氣體的工藝中，石墨與氣體反響（如C+Cl2→CCl2），加速腐蝕。
預(yù)防措施：
    挑選高純度石墨（灰分＜100ppm）提高耐蝕性。
    工藝中嚴(yán)厲操控腐蝕性氣體濃度。
    縮短此類工藝的運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)刻，加強(qiáng)后續(xù)清潔。
8.真空放電擊穿
原因：
    外表毛刺或污染物在高電壓下引發(fā)電弧放電，形成局部燒蝕（常見于石墨加熱器）。
預(yù)防措施：
    裝置前打磨拋光石墨件外表，去除毛刺。
    堅(jiān)持電極觸摸面清潔，涂抹導(dǎo)電膏削減觸摸電阻。
    操控作業(yè)電壓在安全閾值內(nèi)。
維護(hù)主張
    定時(shí)查看：每月目視查看氧化、裂紋，每年測(cè)電阻率評(píng)價(jià)老化程度。
    標(biāo)準(zhǔn)操作：訓(xùn)練人員按手冊(cè)操作，防止人為失誤。
    備件辦理：儲(chǔ)備易損件（如加熱棒），挑選牢靠供應(yīng)商（如東洋碳素、西格里集團(tuán)）。
    經(jīng)過系統(tǒng)維護(hù)，石墨件壽數(shù)可延長至3-5年，明顯下降設(shè)備故障率。